科客點(diǎn)評(píng)：到了3nm這個(gè)地步，估計(jì)良品率是一大難關(guān)。

　　天字一號(hào)代工廠臺(tái)積電這幾年在新工藝方面極為激進(jìn)，正在大規(guī)模量產(chǎn)10nm、加速推進(jìn)7/5nm，現(xiàn)在還首次曝光了全新的3nm，已經(jīng)接近半導(dǎo)體工藝的物理極限。臺(tái)積電的大本營(yíng)一直在臺(tái)灣：10nm位于中科廠Fab 15五到六期；7nm位于七到九期，2018年量產(chǎn)；5nm則位于南科廠Fab 14九期，2019年下半年量產(chǎn)。

　　不過到了3nm，臺(tái)積電正考慮赴美投資建廠，投資額高達(dá)5000億臺(tái)幣，主要原因是南科方面從提出投資方案到通過環(huán)評(píng)審核，至少需要5年時(shí)間，而且空氣質(zhì)量、電力供應(yīng)都是問題。

　　另外臺(tái)灣對(duì)于大陸的工藝輸出也一直是N-1政策，即最高輸出第二新的工藝。如果臺(tái)積電轉(zhuǎn)到美國(guó)投資，對(duì)于大陸方面肯定也會(huì)加強(qiáng)投資和輸出力度。

　　至于3nm工藝本身，由于還處于前期研究階段，臺(tái)積電沒什么可透露的，只說正在與設(shè)備廠商、材料供應(yīng)商共同研究技術(shù)途徑，暫定2022年左右量產(chǎn)。

　　按照行業(yè)規(guī)劃，極紫外光刻到時(shí)候應(yīng)該可以上馬了，450mm大晶圓則很難說，最近一直沒什么進(jìn)展。